飞米计量仪器,三坐标度量机是适应上述发展趋

2019-09-22 作者:公司文化   |   浏览(84)

近日,中国计量科学研究院、山东省计量科学研究院、南京市计量监督检测院、苏州市计量测试研究院、上海市计量测试技术研究院共同召开,NQI课题《纳米几何特征参量计量标准器在生物医药产业应用示范》工作会议。 该课题取得的研究成果:2项发明专利、1项校准规程、2项地方标准、5项社会公益计量标准。本次会议探讨了研究中的重点、难点问题。为课题的进一步研究划出了目标。 几何量测量方法 指测量时所采用的测量原理、计量器具相测量条件的综合。在测量过程中,应根据被测零件的特点(如材料硬度、外形尺寸、批量大小、精度要求等)和被溯对象的定义来拟定测量方案、选择计量器具和规定测量条件。 纳米计量仪器 纳米的计量并非传统计量简单拓展。微电子和超精细加工走入了纳米空间。几何测量纳米逐渐走向实用性。由于纳米的尺度接近原子极限,它的测量方法和仪器都有独特性。 一、扫描隧道显微镜 二、激光干涉仪测距 三、干涉仪(由稳频塞曼激光光源、四光束偏振迈克尔干涉仪和数据分析电子系统组成) 四、X光干涉仪 五、电容式位移控制微悬臂原子力显微镜 六、描探针显微镜系列(扫描隧道显微镜、原子力显微镜等组成) 七、原子力显微镜

精密测量技术

2014年12月10日,全国振动冲击转速计量技术委员会发布公告,公开征集《移动式机动车雷达测速仪》《电动振动试验系统检定规程》《固定式机动车雷达测速仪检定规程》《振动计量器具检定系统》四项规程意见。

日前,由清华大学李岩、尉昊赟、吴学健、张弘元、张继涛、赵世杰、朱敏昊、黄沛、任利兵、杨宏雷完成的“高测速多轴高分辨力激光干涉测量技术与仪器”项目获得2018年度中国计量测试学会科学技术进步一等奖。 计量是科学技术的基础,是人类认识世界的工具,人类历史上的3次技术革命都和计量测试技术的突破息息相关,计量测试科技成果对推动其他科学技术的进步与发展具有重要的促进和引领作用。激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一,是保障可溯源纳米测量的重要途径,也是迈向计量强国、制造强国不可或缺的关键计量测试技术。 项目团队针对光刻机工件台超精密定位、基础计量测量和高端仪器应用中对激光干涉仪高动态、高分辨力、跨尺度和可溯源等测量需求,深入开展测量原理、方法和测量系统仪器化中的共性科学技术问题研究,突破集成多轴干涉、信号解调和折射率补偿等关键技术,形成全套自主的高性能激光干涉测量系统;提出系列可溯源至长度或频率基准的激光干涉测量方法,实现不确定度为皮、纳米量级的高精度测量;形成了系列知识产品成果,研究成果支撑了我国自主研发光刻机的高精度定位,激光测振仪的信号解调等应用,并入选国家“十二五”科技创新成就展。 项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨力激光干涉测量系统,提出了光频可溯源系列化激光干涉精密测长方法。截至目前,项目获授权发明专利20余项,发表SCI收录论文30余篇。 此外,项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统,成功应用到我国自研光刻机工件台样机研发过程中,累计应用50余台套,很好的满足了光刻机双工件台样机的精密测量需求,支撑了国内光刻机用双频激光干涉仪能力的形成,减轻了对国外高端干涉仪的依赖,为我国高端装备和仪器研发提供了性能优良且不受制于人的测量及溯源能力。 “中国计量测试学会科学技术进步奖”是在国家科学技术奖励办公室登记备案的省部级科技进步奖。其中申报一等奖的项目要求整体技术已正式应用三年以上并取得较大的经济效益或社会效益。目前产品已成功应用到航空航天、汽车制造、机床检测等多个领域,成为提升中国制造产品质量的有力支撑工具。

现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科,涉及广泛的学科领域,它的发展需要众多相关学科的支持。

其中,《移动式机动车雷达测速仪》检定规程由北京市计量检测科学研究院、中国计量科学研究院、浙江省计量科学研究院共同起草。移动式机动车雷达测速仪是指可按使用者要求置于不同检测位置对机动车行驶速度值进行测量的仪器,通常包含雷达天线、信号处理单元及速度显示单元,对于具备自动记录机动车的图像等相关信息的测速仪应配备图像记录设备。

在现代工业制造技术和科学研究中,测量仪器具有精密化、集成化、智慧化的发展趋势。三坐标测量机是适应上述发展趋势的典型代表,它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。同时,作为下世纪的重点发展目标,各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。

《电动振动试验系统检定规程》由中航工业北京长城计量测试技术研究所、北京中元环试机电设备技术有限公司、中国计量科学研究院共同起草。电动振动试验系统是用来按照试验标准要求产生不同振动和冲击等激励(如正弦振动、随机振动、正弦加宽带随机振动、窄带随机加宽带随机、经典冲击、冲击响应谱等)的动态力学环境试验设备。该规程适用于电动振动试验系统的检定。该系统通常由数字式振动控制器、电动振动台、功率放大器、控制加速度计及其它附属设备等组成。

三坐标测量机

《固定式机动车雷达测速仪检定规程》由北京市计量检测科学研究院、中国计量科学研究院、浙江省计量科学研究院共同起草。固定式机动车雷达测速仪是指基于多普勒效应原理被指定安装于道路合适位置,对检测车道内机动车行驶速度进行实时、自动测量的设备,通常由雷达天线、信号处理单元、图像处理单元、通信单元、辅助照明单元及速度显示单元等组成。

三坐标测量机作为几何尺寸数字化检测设备在机械制造领域得到推广使用。

《振动计量器具检定系统》由中国计量科学研究院、中国测试技术研究院共同起草。振动国家基准装置主要由振动发生系统(包括信号源、功率放大器、振动台等)、激光测振系统(包括激光干涉仪、数据采集系统等)和必要的隔振基础等组成。采用激光绝对法测量,可复现按正弦规律运动的振动加速度、速度、位移的幅值和相位,其量值可直接溯源到基本国际单位制的长度单位和时间单位。

1、误差自补偿技术

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德国CarlZeiss公司最近开发的CNC小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术,使坐标测量机的测量精度在17.8~25.6℃范围不受温度变化的影响。国内自行开发的数控测量机软件系统PMIS包括多项系统误差补偿、系统参数识别和优化技。

CNC小型坐标测量机

2、丰富的软件技术

CarlZeiss 公司开发的坐标测量机软件STRATA-UX,其测量数据可以从CMM直接传送到随机配备的统计软件中去,对测量系统给出的检验数据进行实时分析与管理,根据要求对其进行评估。依据此数据库,可自动生成各种统计报表,包括X-BAR&R及X_BAR&S图表、频率直方图、运行图、目标图等。

美国公司的Cameleon测量系统所配支持软件可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计50多个测量模块。

日本Mistutor公司研制开发了一种图形显示及绘图程序,用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较,具有多种输出方式。

STRATA-UX系统处理简图

3、非接触测量

基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM上代替接触式探头。通过探头的扫描可以准确获得表面粗糙度信息,进行表面轮廓的三维立体测量及用于模具特征线的识别。

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